いよいよ露光機にもUV-LEDが採用されたという記事を発見！ 5/28日付電子デバイス産業新聞に基板用ステッパー向けにUV-LEDを採用 したという記事がありました(^O^) ・消費電力年間280万円削減 ・ランプ交換回数、費用ゼロ ・2kW水銀ランプ比3倍の照度というこ…