露光機にも応用！

いよいよ露光機にもUV-LEDが採用されたという記事を発見！
5/28日付電子デバイス産業新聞に基板用ステッパー向けにUV-LEDを採用
したという記事がありました(^O^)
・消費電力年間280万円削減
・ランプ交換回数、費用ゼロ
・2kW水銀ランプ比3倍の照度ということです。
いよいよですね！（＾−＾）